芯片技术已成为制约我国高质量发展的瓶颈，基于微机电系统（MEMS）技术的高性能微传感器芯片更是备受欧美“卡脖子”的核心器件之一。“工欲善其事，必先利其器”，与微电子芯片类似，设计及制造技术也是制约MEMS芯片性能的关键。 据麦姆斯咨询报道 ...

中国科学院深海科学与工程研究所杨阳研究员团队联合深圳大学、日本奈良先端科学技术大学院大学在Applied Physics Reviews期刊上发表了综述文章，系统地讨论了基于微机电系统（MEMS）技术的海洋物理传感器，包括其原理、材料设计以及各种应用场景。 海洋传感器 ...