柯恩指出，EUV曝光机堪称现代工程奇迹，它有两点令人印象深刻：一是 ASML与德国光学公司蔡司合作研发的镜片，若将镜片放大到与整个德国同等大小，整个镜面的误差不会超过1公厘；二是EUV的精准度之高，相当于从房屋发射雷射光束，并在月球上打乒乓球。

据劳伦斯利弗莫尔国家实验室的研究团队介绍，相比现有EUV光刻系统所采用的CO2激光器，BAT 激光器可以将 EUV能源效率提高约 10 倍。这可能会助力未来“beyond EUV”光刻系统能够生产更小、更强大、制造速度更快、耗电量更少的芯片。

哈工大用可控核聚变技术制出13.5nm波长EUV光源，打破ASML垄断 ...

荷兰不仅有风车、郁金香，还有12家世界500强企业，这些企业几乎在各自领域独树一帜，尤其是光刻机巨头ASML。本来过着与世无争且浪漫的岁月，却被美一手点燃的科技战卷入了一场没有硝烟的战争。

1月6日消息，美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室（LLNL）宣布开发出了一种名称为大孔径铥 （BAT） 激光器，旨在为极紫外 （EUV） 光刻技术的下一步发展奠定基础。该激光器的效率号称是目前ASML EUV光刻机中使用的二氧化碳（CO2）激光器 ...

哈工大突破EUV光源技术的消息一经传出，在西方各界引起了巨大的轰动，不少外媒纷纷发文表示，“中国芯”的崛起已成定局，用不了几年，美西方耗时几十年打造的芯片壁垒就会被全面打破，当下最好的选择就是坚持“全球化”。

据台湾半导体供应链透露，台积电刚进货一台High-NA EUV，在新竹有“台版贝尔实验室”之称的台积研发中心装机，展开测试。规划在2030年量产的A10（10埃米，相当于1纳米）制程开始大量采用该机台，届时将助攻台积进入“埃米”时代。

众所周知，目前美国一直在打压中国的芯片产业，从逻辑芯片到NAND、DRAM存储芯片，再到AI芯片等等。

虽然台积电和中芯国际目前市值存在巨大差异，台积电目前的市值随着近日的大涨已经突破了1万亿美元，而中芯国际目前的A股市值仅为约1000亿美元不到，但王国辉认为，中芯国际可以利用其优势在未来与台积电持平： ...

美国研发新型激光技术。美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室（LLNL）宣布开发了一种名为大孔径铥（BAT）激光器的技术，旨在为极紫外（EUV）光刻技术的进一步发展奠定基础。这种新型激光器的效率据称是目前ASML ...