快科技1月6日消息，美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室（LLNL）正在研究一种效率比传统CO2 EUV激光器高10倍的激光器，这将为下一代EUV光刻技术发展奠定基础。 据报道，LLNL正在研发的是一种拍瓦级（petawatt-class）铥激光器（thulium laser），采用大孔径铥 (BAT：Big Aperture Thulium ) 激光技术，与当前行业标准二氧化碳 (CO2) 激光器相比可 ...