在芯片整个繁杂的制造过程中,光刻机拥有着不可替代的地位,如果没有光刻机,集成电路图就无法投影到硅片上,蚀刻、封测等程序也就无从谈起,因此,光刻机被誉为“现代工业皇冠上的明珠”。